微纳米加工技术

光刻技术，电子束曝光技术，聚焦离子束加工技术，扫描探针加工技术，薄膜沉积技术，刻蚀技术，纳米加工技术，模铸技术，PDMS模塑加工技术

机械微加工技术

激光微加工技术，离子铣技术，微切削加工技术，超精密微磨削技术，金刚石纳米磨削技术，微电加工技术，微孔加工技术

配套及周边

洁净技术，涂胶系统，热板及显影系统，超声压焊系统，去离子水系统，光学显微镜，临界点干燥仪，烘箱，快速退火炉

检测、实验、分析

超高分辨场发射扫描电镜（SEM），扫描探针显微镜(AFM)，双探针扫描电镜原位测量系统(DB-SEM)，场发射测量系统(FE)，气敏特性测量系统(GS)，纳米器件测量系统（4200），表面形貌仪(D8)，光学测量系统(OM)，多功能物性测量系统 （PPMS）